การควบคุมคุณภาพในอุตสาหกรรม Semiconductor ด้วย UV Label และ Temperature Label

การจัดการการฉายรังสี UV ด้วย UV Label

UV Label คือฉลากที่เปลี่ยนสีเมื่อได้รับรังสีอัลตราไวโอเลต (UV) ทำให้สามารถตรวจสอบได้ว่าแหล่งกำเนิดแสง UV ทำงานถูกต้องหรือไม่

Dicing Process

Dicing คือกระบวนการตัดแยก Silicon Wafer ออกเป็นชิปขนาดเล็ก (Die) แต่ละตัว

ก่อนตัด Wafer จะถูกยึดติดกับ Dicing Tape ซึ่งเป็นเทปกาวชนิดพิเศษ เมื่อฉายแสง UV กาวจะสูญเสียแรงยึดเกาะ ทำให้สามารถแยกชิปออกจากเทปได้ง่าย

UV Label ช่วยอย่างไร

• ตรวจสอบว่าเครื่องฉาย UV ทำงานหรือไม่

• ตรวจสอบว่าปริมาณแสง UV เพียงพอหรือไม่

• ลดความเสี่ยงที่กาวจะไม่คลายตัว ทำให้ชิปเสียหาย

• ช่วยควบคุมคุณภาพของกระบวนการผลิต

กระบวนการทำความสะอาดด้วย UV-Ozone

การฉายแสง UV จะทำให้เกิดก๊าซโอโซน (Ozone) ซึ่งช่วยกำจัดสารอินทรีย์หรือสิ่งปนเปื้อนบนพื้นผิวเวเฟอร์ก่อนเข้าสู่ขั้นตอนการผลิต

UV Label ช่วยอย่างไร

• ตรวจสอบว่าเครื่อง UV-Ozone Cleaner ทำงานปกติ

• ตรวจสอบว่ามีการฉายแสง UV อย่างเพียงพอ

• ลดความเสี่ยงที่สิ่งสกปรกจะตกค้างบนเวเฟอร์

กระบวนการลอกสาร Photoresist

Photoresist คือสารเคลือบไวแสงที่ใช้สร้างลวดลายบนเวเฟอร์ เมื่อเสร็จกระบวนการผลิตในแต่ละขั้น จะต้องลอกสาร Photoresist ออกทั้งหมด

UV Label ช่วยอย่างไร

สามารถตรวจสอบ

• การกระจายตัวของแสง UV

• ความเข้มของแสง UV

• ความสม่ำเสมอของการฉายแสง

จึงช่วยให้การลอก Photoresist มีประสิทธิภาพและสม่ำเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์ ลดโอกาสเกิดตำหนิบนชิป

การจัดการอุณหภูมิด้วย Temperature Label

Temperature Label คือฉลากบ่งชี้อุณหภูมิที่เปลี่ยนสีเมื่อถึงอุณหภูมิที่กำหนด ช่วยให้ตรวจสอบอุณหภูมิสูงสุดที่ชิ้นงานได้รับ

VL Series สำหรับการตรวจสอบอุณหภูมิภายใต้สุญญากาศ

กระบวนการผลิต control chemical หลายขั้นตอนดำเนินการภายในสภาวะสุญญากาศ (Vacuum)

สภาวะสุญญากาศช่วย

• ควบคุมปฏิกิริยาเคมี

• ลดการปนเปื้อน

• รักษาความสะอาดของกระบวนการผลิต

VL Series ช่วยอย่างไร

ฉลาก VL Series ถูกออกแบบให้ใช้งานในสภาวะสุญญากาศได้ โดยสามารถติดบนเวเฟอร์หรือชิ้นงานเพื่อตรวจสอบอุณหภูมิจริงระหว่างกระบวนการผลิต

• ใช้งานได้ในสุญญากาศ

• ไม่ต้องใช้เซนเซอร์หรือสายไฟ

• ตรวจสอบอุณหภูมิย้อนหลังได้จากการเปลี่ยนสีของฉลาก

ตรวจสอบอุณหภูมิในกระบวนการ CMP

CMP (Chemical-Mechanical Polishing) คือกระบวนการขัดผิวเวเฟอร์ให้เรียบด้วยสารเคมีร่วมกับแผ่นขัด ระหว่างการขัดจะเกิดแรงเสียดทาน ทำให้เกิดความร้อนบริเวณระหว่างแผ่นขัดกับเวเฟอร์

Temperature Label ช่วยอย่างไร

• ฉลากบ่งชี้อุณหภูมิสามารถติดในพื้นที่แคบหรือบนชิ้นส่วนที่หมุนได้ เพื่อ

• ตรวจสอบการเกิดความร้อนสูงเกินไป (Overheating)

• ป้องกันความเสียหายของเวเฟอร์

• ลดความเสียหายของอุปกรณ์

• เพิ่มความน่าเชื่อถือของกระบวนการผลิต