Calibration Procedure for Certified Shims STD-CSS

ระเบียบการสอบเทียบแผ่นชิมที่ผ่านการรับรอง (Certified Shims)

รุ่น STD-CSS

1. บทนำและข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่ต้องสอบเทียบ (UUC)

1.1 เอกสารนี้อธิบายขั้นตอนการสอบเทียบแผ่นชิมที่มีช่วงการวัด: 25 - 1500 ไมครอน (1 - 60 mils)
1.2 แผ่นชิมที่นำมาสอบเทียบจะเรียกว่า UUC (Unit Under Calibration)

2. มาตรฐานการวัดและข้อกำหนดของอุปกรณ์สนับสนุน

2.1 ความแม่นยำของ UUC จะอิงตามข้อมูลจากผู้ผลิต
2.2 ใช้อัตราส่วนความไม่แน่นอนในการสอบเทียบที่ 4:1
2.3 ต้องใช้อุปกรณ์วัดที่มีความแม่นยำไม่น้อยกว่าที่กำหนดไว้ เพื่อให้ผลสอบเทียบเชื่อถือได้

3. ขั้นตอนเบื้องต้น

3.1 ตรวจสอบสภาพของแผ่นชิม (UUC): ความเสียหาย, การสึกหรอ, คมขอบ
3.2 ถ้าพบว่าแผ่นชิมชำรุดควรเปลี่ยนใหม่ทันที
3.3 ทำความสะอาดพื้นผิวด้วยน้ำและสำลีก้าน (หลีกเลี่ยงแอลกอฮอล์)
3.4 ตรวจสอบว่าเกจวัดตั้งค่าที่ศูนย์แล้ว

4. ขั้นตอนการสอบเทียบ

4.1 วัดค่า 5 ครั้ง ในบริเวณที่แรเงา "A" ตามภาพ Fig 4-1
4.2 หาค่าเฉลี่ยและบันทึกค่าความหนา (ไมครอน) บนฉลาก DeFelsko

4.3 แปลงค่าจากไมครอนเป็น mils โดยใช้สูตร 1 mil = 25.4 ไมครอน
4.4 ติดฉลากไว้ที่ปลายด้านตรงข้ามกับบริเวณที่ทำการวัด
4.5 ทำซ้ำกระบวนการสำหรับแผ่นชิมทุกชิ้น

5. ขั้นตอนการรับรองซ้ำ (Recertification)

5.1 ใช้ค่าความหนาจากฉลากมาอ้างอิง แล้ววัดค่าใหม่อีก 5 ครั้ง
5.2 ตรวจสอบว่าแต่ละค่าที่วัดได้อยู่ในช่วงที่ยอมรับได้
5.3 บันทึกเลขซีเรียลและค่าที่วัดได้ทั้งในหน่วยไมครอนและ mils

6. ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพ

6.1 แต่ละค่าที่วัดได้ต้องอยู่ภายใน ±2 ไมครอน จากค่ากลาง
6.2 คำนวณช่วงค่าสูงสุด/ต่ำสุดที่ยอมรับได้ แล้วตรวจสอบว่าค่าที่ได้ไม่เกินช่วงนี้
6.3 บันทึกข้อมูลลงในใบรับรองการสอบเทียบ

หากต้องการเอกสาร หรือรายละเอียดเพิ่มเติม สามารถติดต่อเราได้ทุกช่องทาง